薄膜電容檢測(cè)器的檢測(cè)氣室內(nèi)充填有待測(cè)組分氣體。選擇性好的儀表一般是分析什么氣體，則檢測(cè)室中就充填什么氣體。但有的時(shí)候，儀表要分析腐蝕性強(qiáng)的氣體，考慮到材料的原因，檢測(cè)器氣室中就不可能充填這種帶強(qiáng)腐蝕性的氣體，只能選擇一種與待測(cè)組分特征吸收波長相近的氣體，這樣，儀表的選擇性就會(huì)差一點(diǎn)。充填氣體的濃度則要根據(jù)具體情況來定，對(duì)于吸收紅外線能力很強(qiáng)的CO2、CO等氣體，充填氣只要含10%-18%的CO2、CO就可以了，其余的氣體則是Ar或N2，最好充填Ar，因?yàn)?/span>Ar的熱容量小，升高到相同溫度，Ar所需要的的熱量少。不能充純氣體，因?yàn)榧儦怏w的濃度太高時(shí)，輻射來的紅外線在靠近窗口處會(huì)被吸收掉，不能再深入到檢測(cè)器氣室的深處，這樣部分熱量就在窗口附近傳出損失掉，這就會(huì)影響儀表的靈敏度。充填氣體中待測(cè)組分濃度的大小，應(yīng)以使紅外線輻射到達(dá)檢測(cè)器氣室底部時(shí)剛好被吸收掉，這樣最為理想。檢測(cè)器氣室中充填待測(cè)組分濃度的大小，還得根據(jù)檢測(cè)器氣室的大小以及被測(cè)氣體的情況，一般都是由實(shí)驗(yàn)來確定。為了確保薄膜電容器的選擇性充填氣體中的雜質(zhì)越少越好。